Шемухин Андрей Александрович, (1987 года рождения), кандидат физ.-мат. наук, и.о. заведующего лабораторией Ионно-пучковых технологий
С
2008 года работает в НИИЯФ МГУ. В октябре 2013 года
защищена диссертационная работа «Исследование образования дефектов и
рекристаллизации в пленке кремния на сапфире при ионном облучении»
по специальности 01.04.20 |
За последние три года под руководством Шемухина А.А. были получены новые данные о влиянии профиля распределения примеси алюминия в эпитаксиальных структурах карбида кремния на создание электронных компонент силовой электроники. Изучено образование радиационных дефектов в карбиде кремния после высокотемпературного облучения протонами. Изучено образование дефектов и вакансий в алмазах, возникающих при ионной бомбардировке ионами гелия. А также изучено влияние свойств границы раздела кремний-сапфир на характеристики ультратонких пленок кремния на сапфире. Разработан метод отделения тонких пластин широкозонных полупроводниковых материалов, в том числе сверхтвердых, с использованием метода ионной имплантации. Разрабатывается методика контролируемого управления транспортными свойствами композитов на основе углеродных нанотрубок. Изучаются механизмы взаимодействия (распыление, имплантация, дефектообразование) ионов средних энергий с наноразмерными объектами. Опубликовано более 56 статей в журналах. |